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Siliziumtetrafluorid SIF4 Chemische Spezialgase

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Modell: High purity silicon tetrafluoride CAS#: 7783-61-1

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Verkaufseinheiten:: Gram

Hochreinheit Silicon Tetrafluorid CAS: 7783-61-1 SIF4 99,999%

5N Chemische elektronische Spezialgase

Produkteinführung

Siliziumtetrafluorid (SIF ₄ ) ist eine Art farblose, giftige, scharfe und stinkende Gas mit einem Molekulargewicht von 104,06. Silizium -Tetrafluorid ist leicht abnehmend und kann dicker Rauch in feuchter Luft erzeugen. Siliziumtetrafluorid ist in Ethanol, Ether, Salpetersäure, Hydrofluorsäure löslich, ihre Hygroskopizität ist sehr stark und ₄ Veränderungen in einer Flüssigkeit unter Druck, Siliziumtetrafluorid weist einen weiten Bereich von Anwendungen in der elektronischen Industrie auf.

Qualitätsspezifikation

Items	Units	Index
Silicon tetrafluoride（SiF₄）≥	Vol.%	99.999
Hydrogen（H₂）≤	Vol.ppm	1
Oxygen + Argon（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	0.5
Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	4
Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	0.1
Carbon dioxide（CO₂）≤	Vol.ppm	0.3
Methane（CH₄）≤	Vol.ppm	1
Hydrogen sulfide（SH₂）≤	Vol.ppm	0.1
Oxygen（O₂）≤	Vol.ppm	0.1
Sulfur dioxide（SO₂）≤	Vol.ppm	10
Total impurity content≤	Vol.ppm	1
Hexafluorodimethyl silicone ether	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement
As、B、P	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement
Particle	Supply and demand agreement	Supply and demand agreement

Anwendung

Siliziumtetrafluorid wird hauptsächlich als P-Typ-Dotiermittel, Ätzmittel und epitaxiale Ablagerungsdiffusions Siliziumquelle von Siliziumnitrid und Tantal-Silizid in der elektronischen Industrie verwendet, und SIF ₄ kann auch zur Herstellung elektronischer Silizium oder Silizium verwendet werden. Darüber hinaus kann Siliziumtetrafluorid verwendet werden, um Solarzellen, Fluorosilicsäure und Siliziumfluorid, Zement und Härter des künstlichen Marmors zu produzieren.

Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Fluorhaltiger elektronischer Spezialgas mit hoher Purity

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