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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modell: Tungsten hexafluoride CAS#: 7783-82-6 WF6
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
Tungsten Hexafluorid CAS: 7783-82-6 WF6
Hohe Reinheit 99,999% 5N Halbleitermaterial
Produkteinführung
Wolfram -Hexafluorid ist eine Art farbloses Gas bei Raumtemperatur, es ist stark schärfend, giftig und ähnlich wie die Toxizität von Fluor. Die molekulare Formel beträgt WF 6 und das Molekulargewicht beträgt 297,830, der Siedepunkt beträgt 17,5 ° und beträgt 2,3 ℃. Wolfram -Hexafluorid kann in organischen Lösungsmitteln gelöst und in Wasser zersetzt werden, es zersetzt sich auch durch Feuchtigkeit in der Luft und raucht dann stark. Seine chemische Eigenschaft ist aktiv und kann mit fast allen Metallen (außer Gold und Platin) reagieren und Nickel, Monellegierungen und Edelstahl korrodieren. Wolfram -Hexafluorid ist das einzige, das stetig und industriell unter dem Fluorid von Wolfram produziert wird, und wird als Rohstoff des CVD -Verfahrens (CVD) des chemischen Dampfs (CVD) in der elektronischen Industrie verwendet, das das Hauptanwendungsfeld ist. Insbesondere kann WSI 2 aus WF 6 als Kabelmaterial in großem Maßstab integrierter Schaltkreis (LSI) verwendet werden.
Qualitätsspezifikation
|
Items |
Units |
Index |
Index |
Index |
|
Tungsten hexafluoride≥ |
Vol.% |
99.9 |
99.999 |
99.9995 |
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤ |
Vol.ppm |
10 |
0.5 |
0.5 |
|
Nitrogen（N2）≤ |
Vol.ppm |
50 |
1 |
0.5 |
|
Oxygen+ Argon（O2+Ar）≤ |
Vol.ppm |
50 |
0.5 |
0.5 |
|
Carbon dioxide（CO2）≤ |
Vol.ppm |
- |
0.5 |
0.5 |
|
Carbon monoxide（CO）≤ |
Vol.ppm |
- |
0.5 |
0.5 |
|
Sulfur hexafluoride（SF6）≤ |
Vol.ppm |
10 |
0.5 |
0.5 |
|
Silicon tetrafluoride（SiF4）≤ |
Vol.ppm |
10 |
0.5 |
0.5 |
|
Hydrogen fluoride（HF）≤ |
Vol.ppm |
800 |
1 |
1 |
Anwendung
Wolfram -Hexafluorid kann als Rohstoff des CVD -Verfahrens (Chemical Dampor Deposition) von Wolfram in der elektronischen Industrie verwendet werden und kann auch als Halbleiterelektrode und leitfähige Paste verwendet werden. Darüber hinaus wird Wolframhexafluorid häufig als Fluridisator, Polymerisationskatalysator und Rohstoff von optischen Materialien verwendet.
Verpackung 、 Speicher
Wolfram -Hexafluorid wird in Standard -nahtlosen Zylindern gespeichert, die Packspezifikationen umfassen 8L, 44L bzw. 47L. Spezifische Verpackungsspezifikationen können nach den Benutzeranforderungen angepasst werden. Wolframhexafluorid wird in einem schattigen, trockenen und belüfteten Lagerraum von Feuer- und Wärmequelle aufbewahrt. Der Lagerbereich muss mit Ausrüstung für den Notfall ausgestattet sein.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Fluorhaltiger elektronischer Spezialgas mit hoher Purity
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