Contact Now
Please Leave Us A Message
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modell: Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
Hexafluorethan CAS: 76-16-4 C2F6 Hight Reinity
99,999% 5n für Halbleiterätgas Gas
Produkteinführung
Hexafluorethan (C 2 F 6 ), auch als Perfluorethan bekannt, ist eine Art farbloser, geruchloser, nicht entzündbarer Inertgas. Bei normaler Temperatur und Druck beträgt sein Schmelzpunkt 100,6 ° C, der Siedepunkt 78,2 ° C, etwas löslich im Wasser. Hexafluorethan wird durch die Reaktion von R125 und Fluorgas erzeugt und dann nach der Reinigung und Berichtigung elektronische Produkte erhalten. Aufgrund seiner ungiften, geruchlosen und hohen Stabilität wird Hexafluorethan im Halbleiterherstellungsprozess häufig verwendet. Hexafluorethan hat als trockenes Ätzmittel die Vorteile von sehr kleinem Kantenrading, hoher Ätzrate und hoher Genauigkeit, die den Anforderungen des Halbleiterherstellungsprozesses für kleine Linienbreiten entsprechen können.
Qualitätsspezifikation
|
Items |
Unit |
Indexs |
|
C2F6 |
Vol.% |
≥99.999 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
＜1 |
|
N2 |
Vol.ppm |
＜5 |
|
CO |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
H2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
|
Halohydrocarbon |
Vol.ppm |
＜5 |
|
CH4 |
Vol.ppm |
＜1 |
|
H2O |
Vol.ppm |
＜2 |
|
Acidity（Measured by HF） |
Wt. ppm |
＜0.1 |
|
Total impurity content |
Mol.ppm |
≤10 |
Anwendung
Hexafluorethan elektronischer Grad wird hauptsächlich im Herstellungsprozess von Halbleitermaterialien und Halbleiter -Geräten als Ätzmittel und Reinigungsmittel sowie Isolationsgas und Kühlmittel mit hoher Dielektrik -Festigkeit verwendet.
Verpackung und Lagerung
Hexafluorethan wird in hochdruckbeständigen Zylindern gefüllt, die mit Messingventilen mit einer passenden Gelenk für die austauschbaren Standardverfügungen von CGA Typ 320 ausgestattet sind. Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Fluorhaltiger elektronischer Spezialgas mit hoher Purity
Mobile Seite
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.