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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modell: Nitrogen trifluoride CAS: 7783-54-2
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
Stickstoff-Trifluorid CAS: 7783-54-2 NF3
99,5%Plasma -Ätzengas
Produkteinführung
Stickstoff -Trifluorid (NF 3 ) ist eine Art farbloser, geruchloser und charakterstabiler Gas, es ist auch eine Art starkes Oxidationsmittel. Bei normaler Temperatur und Druck beträgt sein Schmelzpunkt 206,8 °, der Siedepunkt 129,0 ℃, unlöslich in Wasser. Stickstoff -Trifluorid in der Mikroelektronikindustrie ist eine Art exzellentes Plasma -Ätzgas, das während des Plasmaketingprozesses in aktives Fluorion geknackt wird. Für die Plasmaköhe von Silizium und Siliziumnitrid weist unter Verwendung von Stickstofftrifluorid eine höhere Ätzrate und Selektivität auf als die Verwendung von Kohlenstoff -Tetrafluorid oder Kohlenstoff -Tetrafluorid und Sauerstoffmischgas, insbesondere bei der Ätzen integrierten Schaltungsmaterials mit weniger als 1,5 μm, und mit 1,5 & mgr; m. Stickstoff -Trifluorid hat eine hervorragende Ätzrate und Selektivität. Darüber hinaus gibt es keine Verschmutzung auf der Oberfläche von geätztem Material, es ist auch ein gutes Reinigungsmittel.
Qualitätsspezifikation
|
Project |
Unit |
index |
||||
|
（NF3）≥ |
Vol.% |
99.5 |
99.9 |
99.98 |
99.99 |
99.996 |
|
（CF4）≤ |
Vol.ppm |
1500 |
500 |
100 |
50 |
20 |
|
（N2）≤ |
Vol.ppm |
700 |
50 |
10 |
10 |
5 |
|
（O2+Ar））≤ |
Vol.ppm |
700 |
50 |
10 |
5 |
3 |
|
（CO）≤ |
Vol.ppm |
50 |
10 |
10 |
5 |
1 |
|
（CO2）≤ |
Vol.ppm |
25 |
10 |
10 |
5 |
0.5 |
|
（N2O）≤ |
Vol.ppm |
50 |
10 |
10 |
5 |
1 |
|
（SF6）≤ |
Vol.ppm |
50 |
50 |
10 |
5 |
2 |
|
Hydrolyzable fluoride （Measured by HF）≤ |
Vol.ppm |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
（H2O）≤ |
Vol.ppm |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
Anwendung
Stickstoff -Trifluorid kann als Fluorquelle für chemische Lasergas mit hohem Energiegas und als Ätzmittel für Halbleitermaterialien wie Polysilicon, Siliziumnitrid und Wolfram -Silizium verwendet werden. Es kann auch als Reinigungsmittel für die chemische Dampfabscheidung und die LCD -Panel verwendet werden. Stickstoff -Trifluorid wird als Reinigungsmittel für CVD -Box verwendet, das die Schadstoffemission im Vergleich zu Perfluorkohlenwasserstoffen um 90% verringern und die Reinigungsgeschwindigkeit und die Reinigungskapazität erheblich verbessern.
Verpackung und Lagerung
Stickstoff -Trifluorid wird in einem nahtlosen Stahl mit dem Volumen von 8L, 40L, 43,3L bzw. 47L gefüllt. Das Modell des Zylinders ist DOT-3AA, GB 5099, der Druck des Zylinders beträgt 9,0-13,0 mPa. Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Fluorhaltiger elektronischer Spezialgas mit hoher Purity
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