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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modell: Sulfur Hexafluoride CAS: 2551-62-4
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
Schwefel Hexafluorid CAS: 2551-62-4 SF6 99,999%
5N hochpurity elektronisches Spezialgas
Produktnutzung
Schwefelhexafluorid ist ein farbloses, geruchloses, nicht toxisches, nicht flammbares Inertgas mit einem Molekulargewicht von 146,07, einem Schmelzpunkt von -51 ° C und einem Siedepunkt von -64 ° C. Die molekulare Struktur von Schwefelhexafluorid ist in einem Oktaeder angeordnet, der Bindungsabstand ist gering und die Bindungsenergie hoch, sodass ihre Stabilität hoch ist. Elektronischer Schwefel-Hexafluorid mit hoher Purity ist ein ideales Ätzmittel. Schwefelhexafluorid kann verwendet werden, um die Oberfläche von Silizium zu ätzen und organische oder anorganische Membranen auf Halbleitermaterialien zu entfernen, und kann zur Herstellung von optischen Fasern verwendet werden.
Qualitätsspezifikation
|
Items |
Units |
Index |
|
（SF6）Sulfur hexafluoride |
Vol./% |
≥99.999% |
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Oxygen+Argon（O2+Ar）≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
|
Nitrogen（N2）≤ |
Vol.ppm |
≤2 |
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤ |
Vol.ppm |
≤1 |
|
Carbon monoxide（CO）≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
|
Carbon dioxide（CO2）≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
|
Methane（CH4）≤ |
Vol.ppm |
≤0.5 |
|
Moisture（H2O）≤ |
Vol.ppm |
≤3 |
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Acidity（以HF计）≤ |
μg |
≤0.1 |
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Hydrolytic fluoride（以HF计）≤ |
μg |
≤0.8 |
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Total impurity content≤ |
μg |
≤10 |
|
Particle |
μg |
Supply and demand agreement |
Anwendung
Electronic Grade High Pure Schwefel Hexafluorid ist ein ideales elektronisches Ätzmittel, das im Bereich der Mikroelektronik -Technologie weit verbreitet ist. Es wird als Plasmaetch- und Reinigungsmittel bei der Herstellung großer integrierter Schaltungen wie Computerchips und LCD verwendet. Schwefelhexafluorid wird als Fluorquelle zur Herstellung von Fluor-dotiertem Glas bei der Herstellung von optischen Fasern verwendet. Darüber hinaus kann Schwefelhexafluorid auch als Isoliergas, Tracer -Mittel und Kältemittel verwendet werden.
Verpackung 、 Speicher
Schwefelhexafluorid wird in Standard-nahtlosen Zylindern gespeichert, im Allgemeinen beträgt das Zylindervolumen 40 l, der Zylindertyp ist CGA590 QF-2 und der Zylinderdruck beträgt 8,0 mPa und 12,5 mPa. Spezifische Verpackungsspezifikationen können nach den Benutzeranforderungen angepasst werden. Schwefelhexafluorid wird in einem schattigen und belüfteten Lagerraum von Feuer- und Wärmequelle aufbewahrt. Die Temperatur des Lagerraums überschreitet 30 ° C nicht. Es sollte getrennt mit entzündlichen (brennbaren) und Oxidationsmittel gespeichert werden. Der Lagerbereich muss mit Notausrüstung für den Notfall ausgestattet sein.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Fluorhaltiger elektronischer Spezialgas mit hoher Purity
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