Boron11 Trichlorid -Halbleiter -Dopant -Halbleiter -Trockenätzung
Produkteinführung
Bei normaler Temperatur und Druck ist Bor -Trichlorid (BCL 3 ) farbloses Rauchgas, das brennbar, scharfer, saurer Geruch ist. Bor -Trichlorid zersetzt sich in Salzsäure und Borsäure und setzt viel Wärme mit Wasser frei. Er erzeugt Rauch in feuchter Luft aufgrund der Hydrolyse, und BCl 3 zersetzt sich in Salzsäure und Borinsäureester in Alkohol. Bor -Trichlorid hat eine starke Reaktionsfähigkeit und kann eine Vielzahl von Koordinationsverbindungen bilden. Bor -Trichlorid kann beim Erhitzen mit Glas und Keramik reagieren, und es reagiert auch mit vielen organischen Verbindungen, um eine Vielzahl von Organoboronverbindungen zu bilden. Hochreines Boron11 -Trichlorid wird hauptsächlich zum Diffusionsdotieren im Herstellungsprozess von (Silizium-) Halbleitergeräten verwendet. Borverunreinigungen werden durch Zersetzung von BCL 3 erzeugt und diffundieren in Richtung Silizium, um bei hoher Temperatur einen Halbleiter vom P-Typ zu bilden. BCL 3 kann auch zur Trockenätzung von AL, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI und anderen Materialien verwendet werden.
Qualitätsspezifikation
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items
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Units
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Index
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Boron11 Trichloride≥
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Vol.%
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99.9995
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Oxygen+Argon<
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Vol.ppm
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1
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Nitrogen<
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Vol.ppm
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4
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Ca
rbon monoxide<
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Vol.ppm
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0.5
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Carbon dioxide<
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Vol.ppm
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0.2
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Methane <
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Vol.ppm
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0.5
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Total impurity content≤
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Vol.ppm
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5
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Metal ion
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Vol.ppm
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Supply and demand agreement
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Anwendung
Bor -Trichlorid kann verwendet werden, um einen hohen reinen Bor, Katalysator für die organische Synthese, das Flussmittel für die Silikat -Zersetzung, und es auch als Additiv von Desoxidisator, Nitriden und Carbiden bei der Raffination von Legierung verwendet werden. Hoch reines Boron11 -Trichlorid wird hauptsächlich in Diffusionsdotierung, Ionimplantation, Trockenätzung und anderen Prozessen in Halbleitergeräten und integrierter Schaltkreis hergestellt.
Verpackung und Lagerung
Boron11 Trichlorid ist im Zylinder gefüllt. Der mit Boron11 -Trichlorid gefüllte Zylinder entspricht den relevanten Bestimmungen von GB14193. Die Verpackungsspezifikationen umfassen 10L und 47L. Das Produkt wird in einem schattigen, trockenen und belüfteten Lagerraum unter 60 ℃ gespeichert . Es ist verboten, der Sonne auszusetzen und sich von Wärmequellen fernzuhalten. Das Paket muss versiegelt werden und sollte separat mit Alkali und anderen gefährlichen Artikeln gespeichert werden.
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