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Fluorhaltige elektronische hochreinige Spezialgase werden in High-Tech-Industrien wie Halbleitern, Mikroelektronik und verwandten Solarzellen weit verbreitet. Da sich Halbleiter- und Mikroelektronik -Technologien zu einer höheren Leistung und einer höheren Integration entwickeln, nimmt die Reinheitsanforderungen für elektronische Spezialgase zu. Die Reinigung von elektronischem Sondergas ist sehr wichtig
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