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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modell: Nitrogen Trifluoride CAS: 7783-54-2
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
NF3 Stickstoff Trifluorid CAS: 7783-54-2 99,5%
Hohe Reinheit für elektronische
Spezialgas ätzend
Produktnutzung
Stickstofftrifluorid (NF3) ist eine Art farbloser, geruchloser und charakteristischer Stallgas, es ist auch eine Art starkes Oxidationsmittel. Sein Schmelzpunkt beträgt 206,8 ℃, der Siedepunkt beträgt 129,0 ℃, unlöslich in Wasser. Stickstoff -Trifluorid in der Mikroelektronikindustrie ist eine Art exzellentes Plasma -Ätzgas, das während des Plasmaketingprozesses in aktives Fluorion geknackt wird. Für das Plasmaketing von Silizium und Siliziumnitrid weist unter Verwendung von Stickstoff -Trifluorid eine höhere Ätzrate und Selektivität auf als die Verwendung von Kohlenstoff -Teltrafluorid oder Kohlenstoff -Tetrafluorid und Sauerstoffmischgas, insbesondere bei der Ätzung integrierter Schaltungsmaterial mit weniger als 1,5 μM, Stickstoff -Trifluorid hat eine hervorragende Ätzrate und Selektivität. Darüber hinaus gibt es keine Verschmutzung auf der Oberfläche von geätztem Material, es ist auch ein gutes Reinigungsmittel.
Produktparameter
| Items | Unit | Indexs | ||||
| （NF3）≥ | Vol.% | 99.5 | 99.9 | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
| （CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| （N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| （O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| （CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| （CO2）≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0.5 |
| （N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| （SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
|
Hydrolyzable fluoride
（Measured by HF）≤
|
Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| （H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 |
1 |
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Halbleiter-/Wafer -Ätzmaterialien
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