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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
Incoterm: FOB,CIF,DDP
C4F6 CAS: 685-63-2 Hexafluor-1 3-Butadiene 99,99% 4n
Chip -Ätz -Agent
Produktnutzung
Hexafluor-1,3-Butadien (C 4 F 6 ) ist eine Art farbloser, geruchlos und unlösliches Wasser. Bei normaler Temperatur und Druck beträgt sein Schmelzpunkt 132,0 ° C, der Siedepunkt 5,9 ℃ .hexafluor-1,3-Butadien ist eine Art konjugierte Olefine, die sechs Fluoratome und zwei Kohlenstoffkohlenstoff-Doppelbindung enthält, als eine Art ausgezeichnete Ätzgas aufgrund seines einzigartigen F/C-Verhältnisses, Hexafluor-1,3-Butadienehas höherer Ätzelselektivität, Genauigkeit und Aspektverhältnis als die von traditionellem perfluoriertem gesättigten Fluorkohlenwasserstoff-Ätzgas, Hexafluor-1,3-Butadiene, kann weniger als 100 nm einplagen als 100 nm einrühren als 100 nm einbauen können noch schmaler elektronischer Schaltkreis. Darüber hinaus hat C 4 F 6 ein höheres selektives Verhältnis von Photoresist- und Siliziumnitrid als das von C 4 F 8 , was die Ätzstabilität, die Ätzrate und die Gleichmäßigkeit verbessern und somit die Produktqualität verbessern kann.
Produktparameter
|
Items |
Unit |
Index |
|
C4F6 |
Vol.% |
≥99.99 |
|
N2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
≤2 |
|
H2O |
Vol.ppm |
≤3 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
CO |
Vol.ppm |
≤3 |
|
Isopropanol |
Vol.ppm |
≤5 |
|
Other fluorocarbon |
Vol.ppm |
≤70 |
|
Measured by HF） |
Wt.ppm |
≤2 |
Anwendung
Wird als Ätzengas für die Plasma -Radierung von Halbleiterprodukten verwendet.
Verpackung und Lagerung
Hexafluor-1,3-Butadien wird in Stahlzylinder mit dem Modell von B10, einer Größe von 14 cm × 83 cm, einem internen Volumen von 10,1 l, einem Bruttogewicht von 14,7 kg, Nutzlast von 10 kg gefüllt. Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Halbleiter-/Wafer -Ätzmaterialien
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