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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modell: Perfluoropropane CAS: 76-19-7 C3F8
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
Perfluoropropan CAS: 76-19-7 Halbleiter-Ätzung C3F8 Hochreinheit 99,999% 5N Chip-Ätzmaterialien
Produkteinführung
Perfluoropropan (C 3 F 8 ) ist eine Art farbloser, geruchloser, nicht zahlbarer Inertgas. Bei normaler Temperatur und Druck beträgt sein Schmelzpunkt 183,0 ° C, der Siedepunkt 36,7 ° C und in Wasser schlecht löslich. Octafluoropropan wird durch die Reaktion von Heptafluoropropan und Fluorgas erzeugt und dann nach Reinigung und Berichtigung elektronische Produkte erhalten. Octafluoropropan elektronischer Grad wird in der Herstellung von Halbleitermaterialien und Halbleitervorrichtung verwendet. Die Mischung aus Octafluoropropan und Sauerstoff wird als Plasma -Ätzmaterial verwendet, das selektiv mit der Metallmatrix des Siliziumwafers interagieren kann. Darüber hinaus wird es aufgrund seiner hohen physiologischen Resistenz hauptsächlich als Füll- und Kontrastmittel nach Vitreoretinaloperation verwendet.
Qualitätsspezifikation
|
Items |
Unit |
Indexs |
|
|
C3F8 |
Vol.% |
≥99.999 |
≥99.9995 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
＜1 |
＜0.5 |
|
N2 |
Vol.ppm |
＜5 |
＜1 |
|
CO |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CF4 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
C2F6 |
Vol.ppm |
＜0.5 |
＜0.5 |
|
CH4 |
Vol.ppm |
＜1 |
＜1 |
|
H2O |
Vol.ppm |
＜1 |
＜1 |
|
Acidity (Mesured by HF) |
Wt. ppm |
＜0.1 |
＜0.1 |
|
Total impurity content |
Mol.ppm |
≤10 |
≤5 |
Anwendung
In der Halbleiterindustrie wird Octafluoropropan als Plasmaetchmaterial verwendet. In der Medizin kann Octafluoropropan nach Vitreoretinaloperation als Füllstoff- und Kontrastmittel verwendet werden. Octafluoropropan wird auch als Zutat in Kühlmischungen verwendet.
Verpackung und Lagerung
Perfluoropropan wird mit besonderer Behandlung in sauberen und trockenen nahtlosen Zylindern gefüllt. Die Zylindervolumina betragen 4L, 8L, 10L, 12,5 l und 40 l usw. Die Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Kunden angepasst werden.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Halbleiter-/Wafer -Ätzmaterialien
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