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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modell: Xenon Difluoride CAS: 13709-61-0
Zahlungsart: L/C,T/T,Paypal
Xenon Difluorid CAS: 13709-61-0 XEF2 99,9% 3N für Halbleiterätte
Xenon -Differenzierungen zersetzen sich in neutralen oder alkalischen Lösungen und sind in sauren Lösungen relativ stabil. Die wässrige Lösung hat einen scharfen Geruch. Xenon Difluorid Dampf ist farblos und hat einen widerlichen Gestank. In der Elektronikindustrie wird XEF2 häufig als Ätzgas für Silizium verwendet. Da die chemische Reaktion zwischen XEF2 und Silizium eine spontane Reaktion ist, hat XEF2 eine sehr hohe Selektivität im Ätzprozess von Silizium. Im Prozess des Ätzens von Silizium durch XEF2, XEF2 -Gas durch frei diffundierende Oberfläche des Siliziumsubstrats und chemisch mit den äußersten Siliziumatomen, um gasförmige XE und gasförmige SIF4 zu erzeugen, wird die Korrosion von Silizium realisiert.
Produktparameter
|
Xenon difluoride（XeF2）≥ |
Vol.% |
99.9 |
|
Kalium（K）≤ |
mg/kg |
0.18 |
|
Calcium（Ca）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Sodium（Na）≤ |
mg/kg |
0.70 |
|
Magnesium（Mg）≤ |
mg/kg |
0.12 |
|
Aluminum（Al）≤ |
mg/kg |
0.17 |
|
Zinc（Zn）≤ |
mg/kg |
0.30 |
|
Iron（Fe）≤ |
mg/kg |
1.21 |
|
Plumbum（Pb）≤ |
mg/kg |
0.07 |
|
Cuprum（Cu）≤ |
mg/kg |
0.05 |
|
Chromium（Cr）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
（Mn）≤ |
mg/kg |
0.04 |
|
Manganese（Mo）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Nickel（Ni）≤ |
mg/kg |
0.83 |
|
Phosphorus（P）≤ |
mg/kg |
0.14 |
Anwendung
Das Xenon-Differenzier ist eine Art selektiver Fluridisator, der bei der Herstellung von anorganischem Fluorid und organischer Synthese weit verbreitet ist, jedoch nur in der Gasphase und der nichtwässrigen Lösung, die sie als Fluridisator verwendet und nur in wässriger Lösung als Oxidant verwendet werden kann. Darüber hinaus wird XEF 2 normalerweise als Ätzen von Siliziumgas in der Elektronikindustrie verwendet.
Verpackung 、 Speicher
Das Xenon -Differenzier ist eine stabile Verbindung und kann für lange Zeit in Nickelbehälter oder Aluminiumlegierung nahtloser Zylinder gespeichert werden. Um die unterschiedlichen Anforderungen der wissenschaftlichen Forschungsinstitute und -unternehmen zu erfüllen, umfassen die Verpackungsspezifikationen 100G, 500 g, 1 kg, 2 kg und 5 kg usw. Spezifische Verpackungsspezifikationen können entsprechend den Benutzeranforderungen angepasst werden. Das Xenon -Differenzdifferenzieren müssen in einem schattigen und belüfteten Lagerraum gelagert werden, das vom Oxidationsmittel 、 -Futterchemikalien 、 Alkali -Metall getrennt ist und von Feuerquellen ferngehalten wird.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Halbleiter-/Wafer -Ätzmaterialien
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