Molybdän VI Fluorid MOF6

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Modell: MolybdenuM(VI) Fluoride MoF6 CAS:7783-77-9

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Molybdän (VI) Fluorid MOF6 CAS: 7783-77-9 99,9% 3n hohe Reinheit

Produkteinführung

Molybdän Hexafluorid (MOF ₆ ) ist eine Art weißer blockiger Kristall bei niedriger Temperatur, sein relatives Molekulargewicht beträgt 209,93, der Schmelzpunkt beträgt 17,5 ° und 35 ° C, es ist empfindlich gegenüber nassen Luft. Molybdän Hexafluorid kann viele Metalle (außer Gold und Platin) untergraben und die Metalloberfläche blau drehen. Molybdän Hexafluorid kann zur Isotopentrennung von Molybdän verwendet werden, und es wird in der elektronischen Industrie zur chemischen Dampfabscheidung von Molybdänsilizid oder Molybdemum verwendet, um Interconnects und Gitterelektrode mit niedrigem Widerstand und hohem Schmelzpunkt zu erzeugen.

Qualitätsspezifikation

Molybdenum hexafluoride≥	Vol.%	99.9	99.999	99.9995
Carbon tetrafluoride（CF₄）≤	Vol.ppm	10	0.5	0.5
Nitrogen（N₂）≤	Vol.ppm	50	1	0.5
Oxygen+ Argon.（O₂+Ar）≤	Vol.ppm	50	0.5	0.5
Carbon dioxide（CO₂）≤	Vol.ppm	-	0.5	0.5
Carbon monoxide（CO）≤	Vol.ppm	-	0.5	0.5
Sulfur hexafluoride（SF₆）≤	Vol.ppm	10	0.5	0.5
Silicon tetrafluoride（SiF₄）≤	Vol.ppm	10	0.5	0.5

Anwendung

Die wichtigsten Anwendungsfelder von Molybdän Hexafluorid sind die chemische Dampfabscheidung von Molybdän Silizid oder Molybdän in der Mikroelektronikindustrie, um Interconnects und Gitterelektrode mit niedrigem Widerstand und Spitzenmeldung zu produzieren. Es kann auch als starker Fluridisator, Filmbildungsmaterial, Ionen-Dotiermittel und Molybdän-Isotop-Trennung verwendet werden.

Verpackung 、 Speicher

Molybdän Hexafluorid wird in Standard -nahtlosen Zylindern gespeichert, die Packspezifikationen umfassen 8L bzw. 47L. Spezifische Verpackungsspezifikationen können nach den Benutzeranforderungen angepasst werden. Molybdän Hexafluorid wird in einem schattigen, trockenen und belüfteten Lagerraum von Feuer- und Wärmequelle aufbewahrt. Der Lagerbereich muss mit Ausrüstung für den Notfall ausgestattet sein.

Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Halbleiter elektronischer chemischer Materialien

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