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Modell: Titanium Tetrafluoride CAS: 7783-63-3 TiF4
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Titanium Tetrafluorid CAS: 7783-63-3 TIF4 Reinheit 98,5% für die Anwendung der Mikroelektronikindustrie
Produkteinführung
Titantetrafluorid wird auch als Titanfluorid bezeichnet, seine molekulare Formel beträgt TIF4, das Molekulargewicht beträgt 123,86, der Schmelzpunkt beträgt 284 ℃. Titaniumtetafluorid ist ein hygroskopisches weißes Pulver bei Raumtemperatur. Titaniumtetrafluorid zersetzt sich, wenn es sich in kaltem Wasser auflöst, es ist löslich in Schwefelsäure, Ethanol und Pyridin, aber es ist unlöslich in Ether. Titanium Tetrafluorid hat wichtige Anwendungen in der Mikroelektronikindustrie und der petrochemischen Industrie.
Qualitätsspezifikation
Items |
Units |
Index |
Titanium tetrafluoride(TiF4)≥ |
wt.% |
98.5 |
Heavy metal content≤ |
wt.% |
0.1 |
Chloride content≤ |
wt.% |
0.15 |
Fluorosilicate content≤ |
wt.% |
0.2 |
Iron content≤ |
wt.% |
0.1 |
Sulphate content≤ |
wt.% |
0.1 |
Anwendung _
In der Elektronikindustrie kann Titanium -Tetrafluorid zum Dotieren von Filmforming und Ionenimplantation verwendet werden, und folglich wird Titan -Silizid- oder Titanfilm gebildet, um Verbindungen und Gitterelektrode mit geringem Widerstand und hohem Schmelzpunkt zu produzieren. Titaniumtetafluorid kann in der petrochemischen Industrie als Katalysator verwendet werden.
Verpackung 、 Speicher
Titaniumtetrafluorid wird in versiegelten Kupferbehältern mit Packspezifikationen von 10 g und 100 g aufbewahrt. Spezifische Verpackungsspezifikationen können gemäß den Anforderungen der Benutzer angepasst werden. Titaniumtetrafluorid wird in schattigen und belüfteten Lagerraum gespeichert. Die Temperatur des Lagerraums liegt unter 37 ° C, der Behälter hält die Versiegelung von Feuer- und Wärmequelle fern. Der Lagerbereich muss mit Ausrüstung für den Notfall ausgestattet sein.
Produktgruppe : Halbleiter elektronischer chemischer Materialien > Halbleiter elektronischer chemischer Materialien
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