Boron11 Halbleiter trockener Ätzen -Halbleiter -Dotiermittel

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Boron11 Semiconductor Dopant Semiconductor Dryeting

Produkteinführung

Triethylbor 11 -Säure wird auch Ethylborat und Triethoxy Boron genannt. Seine chemische Formel ist C6H15BO3, das Molekulargewicht beträgt 145,99, der Schmelzpunkt -84,5 ° C und der Siedepunkt 117,5 ° C. Triethylbor 11 Säure ist eine farblose und transparente Flüssigkeit mit leichtem Geruch und bemerkenswerter thermischer Stabilität. Es ist mit Ethanol und Ether mischbar und zersetzt sich in Wasser. Triethylbor 11 -Säure kann als Dotierungsquelle verwendet werden, die in die dünne Schicht auf der Oberfläche des Siliziumwafers eingebaut werden kann, und damit die angegebene Menge erreicht und die erforderliche Verteilungsform erfüllt, um die elektrochemischen Eigenschaften des Halbleiters zu ändern und kann PN -Übergang, Widerstand, Verbindungsdrähte usw. produzieren.

Qualitätsspezifikation

items	Units	Index
Boron11 ≥	Vol.%	99.9995
Oxygen+Argon<	Vol.ppm	1
Nitrogen<	Vol.ppm	4
Ca rbon monoxide<	Vol.ppm	0.5
Carbon dioxide<	Vol.ppm	0.2
Methane <	Vol.ppm	0.5
Total impurity content≤	Vol.ppm	5
Metal ion	Vol.ppm	Supply and demand agreement

Anwendung

Produktgruppe : Stabile Isotopenmaterialien > Kernkraftsicherheitsmaterialien

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