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ZSEM erzeugt eine Vielzahl von fluorhaltigen hochreinhaltigen elektronischen Spezialgasen und organischen Lösungsmitteln, um die Herstellung Ihrer Chips zu vereinfachen. Durch die Reinigung der Wafer-Reinigung ist eine der am häufigsten durchgeführten Verfahren, die bei der Herstellung von Wafern durchgeführt werden. Mit der sich ständig ändernden Technologie und der schrumpfenden Immobilie von Geräten werden die Reinigungsprozesse jedes Mal kompliziert. Waferverunreinigungen reichen von Partikeln mit einem Durchmesserbereich von 0,1 bis 20 Mikrometern, organischen und anorganischen Verunreinigungen und Verunreinigungen. Die Waferreinigung muss ohne zusätzliche Verunreinigungen oder Verunreinigungen an die endgültige Oberfläche erfolgen.
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